Bosh sahifa > Ko'rgazma > Kontent

TFT suyuq kristalining tuzilishi va tayyorlash

Jun 14, 2018

P-Si TFT preparatining asosiy texnologiyasi


  1 , ltft texnik darajada

image.png

2. P-Si TFT preparatini tayyorlashda doping va aralashmaning faollashuvi

image.png

VLSI doping texnologiyasi bilan taqqoslaganda, p-Si dopingining xususiyatlari quyidagilar:

    

(a) substratning past issiqlik o'tkazuvchanligi fotorezistorning termik shikastlanishini yumshatish uchun "yumshoq" doping jarayonini talab qiladi.

(B) qarshi energiyasi, maskeleme qatlami (yoki maskeleme qatlami) bo'lsa, kino (<100 nm)="" dopingi="" uchun="" javob="">

(C), uskunalar oddiy (kam xarajat) va katta maydon bazasi uchun yuqori hosildorlikka erishish mumkin.

(D), doping jarayoni past haroratli aralashmani faollashtirish jarayoniga mos keladi (odatda plastmassa substrat <200 oc="" uchun="" 650="" oc="" dan="">


TFT qatorining kamchiliklari

image.png


TFT array jarayonidagi umumiy kamchiliklar

Zaif TFT xususiyatlari

image.png

TFT chizig'ining yakuniy tekshiruvida nuqta nuqsonlari: ITO-ma'lumot uzatish liniyasi qisqa tutashuvi, ITO-sub ma'lumotlar liniyasi qisqa tutashuvi, ITO-CS qisqa tutashuvi, ortiqcha zaryad, ITO-grid qisqa tutashuvi, IOFF, past VG va boshqa nuqsonlar.

image.pngimage.png


image.png

Elektrostatik parchalanish

Elektrostatik parchalanish statik elektr energiyasi tufayli izolyatsion qatlam va yarimo'tkazgich qatlamining yong'indan iborat. Grid qatlami to'g'ridan-to'g'ri signal qatlamiga ulanadi va qisqa tutashuv sodir bo'ladi. Qisqa tutashgan halqada yoki substratning chetida osonroq bo'ladi.

image.png



  Suyuq kristalli hujayra jarayoni

image.png

Suyuq kristalli hujayra jarayoni (1)

image.png

image.png

image.png


image.png

image.png


image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

Men

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png


image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png