Bosh sahifa > Ko'rgazma > Kontent

Filmlarni tayyorlash jarayoni

Oct 10, 2017

1. vakuum bug'lanishi

Vakuum bug'lanishi, ya'ni vakuumli bug'lanish qoplamasi filmlarni yaratishning eng umumiy usuli hisoblanadi. Ushbu usul endi vakuum idishidagi substrat bilan, 10Pa dan kam vakuum gaz bosimi bilan ta'minlanadi, so'ngra qoplama materialini, atomlarni yoki molekulalarni gazlashtirish sirtidan, bug 'oqimining paydo bo'lishidan, substrat yuzasiga tushayotgan hodisadan isitiladi qattiq film kondensatini hosil qilish. 1-gachasi sxema diagrammasi quyidagicha:

1.png

2. ion qoplamasi va ion nurlarining cho'kmasi

Ion qoplama texnologiyasi prinsipi vakuum sharoitida, gaz yoki bug'langan materialni gazli ionli gazda yoki gazlangan bug 'moddasida ionli bombardimon ta'siridan foydalanish natijasida bug'lanish moddasi substratda bu reaktsiyaning bug'lanishini saqlab turadi. Sxematik diagramma quyidagicha

2.png

Ion nurlanishining cho'kishi - bu nisbatan zaif substrat haroratlarda mukammal xususiyatlarga ega bo'lgan plyonka hosil qilish uchun ionlashtirilgan zarralar bug 'biriktiruvchi material sifatida foydalanish. Sxematik diagramma quyidagicha

3.png

3. Sputtering birikmasi

Sputtering qoplamasi vakuum xonasida bombardimon zarralari substratga maqsadli sirtni bombardimon qilgan zarralar tomonidan cho'ktiriladi va turli filmlarni tayyorlash maqsadiga erishish uchun aslida puflash hodisasi qo'llaniladi. Chuqurlikning tarqalishi, magnetronlarning pasayishi, shaharning pasayishi, radio chastotasi tarqalishi, ion chirog'i puflash va boshqalar. Sxematik diagramma quyidagicha

4.png

4. Kimyoviy bug'ning birikishi

Kimyoviy bug'lar birikmasi asosan yuqori haroratli muhitda (substratni o'z ichiga olgan holda) va faol maydonda kimyoviy reaktsiyalardan foydalanadi, shuning uchun kimyoviy bug' cho'kmasi (kimyoviy, bug'lar, cho'kindi, KVH) deb ataladi. KVH reaktant moddasining gazga bo'lgan jarayoni va turlarining kamida bittasi qattiq bo'lganligi va kino substrat yuzasida kimyoviy reaktsiya bilan biriktirilishi bilan bog'liq. Sxematik diagramma quyidagicha:

5.png