Bosh sahifa > Ko'rgazma > Kontent

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Vakuumni haydash tizimi

Maqsad, TFT va CF bilan vakuumda qutilarga TFT va CF qilishdir.

1.jpg


Asosiy tuzilish quyidagicha

2.jpg

Vacuum Align System, quyidagi 3 tizimdan iborat

3.jpg

Vakuum tizimini ishchi soatlari, asosan quyidagi tartibda ishlang

4.jpg

1.1 vakuum tizimi

AS ning vakuum tizimi asosan quruq vakuum nasosidan (quruq nasos) va Turbo molekulyar nasosdan iborat;

D.P. odatda faqat 10Pa atrofida vakuum oladi;

TMP vakuumni taxminan 1Pa ga olib kelishi mumkin;


Quyidagi VAS mashinasining vakuum quvurining sxematik diagrammasi

5.jpg

1.2 shisha adsorbsiyasi

Vakuumni haydash tizimi, shisha qutisi nozik talablariga asoslanib, shisha hech qanday deformatsiyaga ega emas, balki tushib ketadigan aralashuvni kamaytirish, mashinadagi shisha adsorbsiyasini eng qadimgi vakuum adsorbsiyasidan, elektrostatik adsorbsiyani ishlab chiqishni va keyinchalik paydo bo'ladi. molekulyar kuchlarni adsorbsiyasi!

6.jpg

Elektrostatik adsorbsion va molekulyar kuchni adsorbsiyasidan kelib chiqadigan bo'lsak, biz quyidagi taqqoslashni amalga oshiramiz

7.jpg

1.3 counterpoint tizimi

Joylashtirish tizimi oddiygina Kamera sotib olish Markaz koordinatalarini, tasvirni qayta ishlash tizimi, substrat pozitsiyasini farqlash hisoblagichi orqali, so'ngra nazorat tizimi nozik moslashtirishni ta'minlash uchun substrat o'rnini belgilaydi;

8.jpg

Hizalama jarayoni quyidagicha

Markalar koordinatalarini yuqoriga va pastga egib oling;

9.jpg

2. Tetanani quyidagi rasmda ko'rsatilgandek hisoblang

10.jpg


2. pastki qatlam harakatga keltiriladi va Bm'is yangi markaz nuqtasi hisoblanadi

3. nihoyat Bm'moves um holatiga;